原水 → 原水箱 → 原水泵→ 加絮凝劑裝置→ 雙介質過濾器 → 活性炭過濾器→板式換熱器→加阻垢劑裝置→5μm保安過濾器 →一級高壓泵 → 一級反滲透膜組→ 加堿裝置→ 二級高壓泵 → 二級反滲透膜組 → 中間水箱 →中間水泵→紫外線殺菌燈→去TOC紫外燈 → 脫氧膜組 → EDI裝置 → 一級拋光混床→ 超純水箱→ 超純水泵→ 板式換熱器→二級去TOC紫外燈→二級脫氧膜組→ 增壓泵 → 二級拋光混床 → 終端過濾器 → 超純水使用點。
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